電感耦合高頻等離子體光源設備

       高頻等離子體發生器是通過高頻發生器的作用產生高頻振蕩磁場，供給等離子體能量。當高頻電源與圍繞在等離子炬管外的負載應線圈接通時，高頻感應電流流過線圈，產生軸向高頻磁場。此時向矩管的外管內切線方向通入冷卻氣Ar,中層管內軸向（或切向）通入輔助氣體Ar，并用高頻點火裝置引燃，使氣體觸發產生載流子（離子和電子）。當載流子多至足以使氣體具有足夠的導電率時，在垂直于磁場方向的截面上產生環形渦流電流。幾百安的強大感應電流瞬間將氣體加熱至10000K，在管口形成一個火炬狀的穩定的等離子炬。高頻等離子體官員主要用于地質、冶金、化工、建材、環保、醫藥、食品、科學試驗等領域。

       我公司生產的高頻等離子體光源選用了微機控制可控硅調壓裝置。

       該裝置由于采用了等間距觸發方式，使諧波分量大大降低，既節能，又減輕了對電網的污染。同時該裝置具有線性矯正環節，使輸出跟蹤給定電位器的變化而變化，使調整簡單方便。鎖相分頻電路可使設備在系統頻率發生變化時，能自動跟蹤電網的變化。本設備還采用了多重保護裝置，并具有故障記憶顯示功能，為設備的維修及故障提供了極大的方便。

       我公司可根據用戶的需要專門設計在特殊領域應用的大功率的高頻等離子體發生器。我公司曾經為中國礦業大學、中國科技大學、中科院煤化所、中國科學院大學等單位專門設計生產了特殊科研應用所需的高頻等離子體發生器。